羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從吸氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。

      羅茨真空泵的   大優(yōu)點是：在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，   有一臺前級真空泵串聯(lián)。待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時，羅茨真空泵才能開始工作。并且在一般情況下，羅茨泵不允許高壓差時工作，否則將會過載和過熱而損壞。

      羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個"8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有   的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的   真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的   真空。為了提高泵的   真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。